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应用领域包括半导体、MEMS、超导、铁电子学、材料科学以及物理和光学等探针可以施加直流、低频信号，高效率连续流低温真空系统可使温度控制在8K到475K，可施加磁场（电磁铁）。探针台可用来测试芯片、晶圆片和封装器件。
关键词：
探针
低温
直流
器件
PAC200（200mm半自动低温探针台）
应用领域包括半导体、MEMS、超导、铁电子学、材料科学以及物理和光学等探针可以施加直流、低频信号
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