12英寸自动晶圆探针台，满足12英寸及以下半导体器件测试表征。从Lab到Fab的设计理念，用于半导体器件建模提参、测试表征、设计验证、工艺监控以及工程量产的测试。
用途：
1、搭配相应的测试仪表可以对MOS管/晶体管/MEMS/光电裸片、器件/薄膜等进行I-V、C-V、Qg/Qgs/Qgd等功能参数测试，表征半导体器件的关断、导通、击穿、结寄生电容、积累电荷等参数。
2、DC-1.1THz的无源射频射频测试，以及有源功率半导体器件的负载-牵引测试。
3、硅光半导体晶圆级Grating 平面耦合测量、Die级 edge端面耦合测量。
4、 光伏、MEMS等应用半导体领域测量。